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Advanced Ceramic Coating
2001년 국내 최초로 Y2O3 용사코팅 기술을 독자 개발하여
반도체 설비에 처음 적용한 ㈜단단은 끝임 없는 연구개발을
통하여 차세대 세라믹 코팅기술을 선도해 나가고 있습니다.
APS Coating을 한 단계 Upgrade한 Super Coating부터
고밀도 후막(Thick Film)을 구현할 수 있는 SPS Coating
기존 Aerosol Coating 대비 고속 대면적 성막이 가능한
초 고밀도 NTS 코팅까지, 차세대 Technical Needs를
만족시키기 위한 코팅기술을 보유하고 있습니다.
■ SPS Coating
Thermal Barrier Coating 기술을 응용 발전시킨 SPS 코팅은 APS 코팅의 Splat 구조가 갖는 근본적 문제점들을
해결할 수 있는 첫 번째 대안이 될 것입니다.
• 300µm 이상의 Thick Film 성막
• Sub-micron 크기의 고밀도 균질구조
• Materials : Y2O3 , YAG, Al2O3 , ZrO2 etc.
■ NTS Coating
다양한 재질의 Nano 구조 코팅층 구현을 위해 개발된
NTS 코팅은 Aerosol 코팅의 양산성 한계를 근본적으로
극복한 차세대 코팅 기술입니다.
• Ceramic&Metal Coating
• 대면적 고속 코팅 (Rf Window)
• 코팅층 조성, 화학양론비 제어
• 다양한 기판 적용가능 (Ceramic, Metal, Plastic)
